MEMSF66ÓÀÀÖ×°
°ä²¼¹¦·ò£º
2020-01-03 11:35
ÆðÔ´£º
¡¡¡¡MEMSF66ÓÀÀÖ×°
¡¡¡¡MEMS£¨Microelectromechanical systems£¬Î¢»úµçϵͳ/΢»úе/΢ϵͳ£©MEMS´«¸ÐÆ÷ÖØÒªÀûÒæÊÇÌå»ýÓס¢³ÁÁ¿Çá¡¢¹¦ºÄµÍ¡¢¿¿µÃסÐԸߡ¢»îÂç¶È¸ß¡¢Ò×ÓÚ¼¯³ÉµÈ£¬ÊÇ΢ÐÍ´«¸ÐÆ÷µÄÖ÷Á¦¾ü£¬ÔÚÖð²½È¡´ú´«Í³»úе´«¸ÐÆ÷£¬ÔÚ¸÷¸öÁìÓòÏÕЩ¶¼ÓÐ×êÑУ¬²»ÂÛÊÇÏû·Ñµç×Ó²úÆ·¡¢Æû³µ¹¤Òµ¡¢ÉõÖÁº½¿Õº½Ìì¡¢»úе¡¢»¯¹¤¼°Ò½Ò©µÈ¸÷ÁìÓò¡£
¡¡¡¡½â¾ö¹æ»®
¡¡¡¡Ê°È¡¹¤¾ßºÍÖ°ÄÜÄ£¿é ¡¡¡¡¡ñ¶¨ÔìµÄרÓÃʰȡÎüÍ·ÅäÖÃ×Ô¶¯ÌùƬѹÁ¦Ä£¿éÄܹ»±£ÕϿɿصļüºÏѹÁ¦ºÍÔª¼þµÄ°²È«Ê°È¡ ¡¡¡¡¡ñ¶¨ÔìµÄרÓÃÎüÍ·Äܹ»×Ô¶¯ºÍ±»¶¯µÄ×Ôµ÷ƽ±£ÕϼüºÏ½çÃæµÄÆ½Ãæ¶È£¬Ô¤·ÀSMILEЧӦ ¡¡¡¡¡ñÄܹ»´îÔØÎü×ì¼ÓÈÈÄ£¿é£¬³¬ÉùÄ£¿é£¬¼¤¹â¼ÓÈÈÄ£¿é£¬UVµã½º¼°¹Ì»¯Ä£¿é£¬Èȵª¼°¼×ËṤÒÕ±£»¤ÆøÌ壬»ùµ×Ô¤ÈÈÄ£¿é£¬¹ý³Ì½ÚÔìÄ£¿é£¬Ð¾Æ¬µ¹×°º¸½ÓÄ£¿é ¡¡¡¡¡ñ¿ÉÄÜʵÏָ߾«¶È×Ô¶¯¶Ô룬Ìù×°£¬µã½º£¬¼üºÏµÈÖ÷Ìâ¶ÔÖ°ÄÜ¡£¿É¶¨Ôì´îÔØ·ÖÆçÖ°ÄÜÄ£¿éÀ´ÊµÏÖ³¬ÉùÈÈѹ¼üºÏ£¬¼¤¹âÈÈѹ¼üºÏ£¨½ðÎý£¬î÷£¬¹²¾§£©½ºÕ³£¬¹Ì»¯µÈ¹¤ÒÕ
ÉÏÒ»Ò³
ÏÂÒ»Ò³
